全自动双腔快速退火炉RTP,晶圆快速退火炉
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全自动双腔快速退火炉RTP,晶圆快速退火炉

参考价：面议
型号： RTP-DTS-8
产地： 广东
品牌： 晟鼎
评分：
核心参数
创新点
半导体退火炉是本公司新研发出的针对半导体器件中的一台设备，是公司进入新领域所开发的一款新型设备。退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司
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产品详情

全自动双腔快速退火炉RTP-DTS-8，晶圆快速退火炉


产品特点：兼容6-8英寸WAFER；全自动双腔设计，产能提升；

                 最高温度可达1250℃；超高温场均匀性；

                 稳定的温度重现性；满足SIC量产化制程需求。


行业应用：

其他快速热处理工艺；砷化镓工艺；

氧化物、氮化物生长；欧姆接触快速合金；

硅化物合金退火；氧化回流

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技术参数

最大产品尺寸6-8寸
Cassette or smlf2个
温度范围室温~1250℃
最高升温速度≤30℃/s（载盘）
温度均匀度±3℃≤600℃        ±0.5%＞600℃
温度控制重复性±1℃
腔体数量双腔


东莞市晟鼎精密仪器有限公司为您提供晟鼎全自动双腔快速退火炉RTP,晶圆快速退火炉RTP-DTS-8，晟鼎RTP-DTS-8产地为广东，属于国产退火炉，除了全自动双腔快速退火炉RTP,晶圆快速退火炉的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,Sindin客服电话400-892-5667，售前、售后均可联系。

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典型用户
用户单位 采购时间
清华大学 2024/09/19

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