型号: | RTP-DTS-8 |
产地: | 广东 |
品牌: | 晟鼎 |
评分: |
|
全自动双腔快速退火炉RTP-DTS-8,晶圆快速退火炉
产品特点:兼容6-8英寸WAFER;全自动双腔设计,产能提升;
最高温度可达1250℃;超高温场均匀性;
稳定的温度重现性;满足SIC量产化制程需求。
行业应用:
其他快速热处理工艺;砷化镓工艺;
氧化物、氮化物生长;欧姆接触快速合金;
硅化物合金退火;氧化回流
技术参数 | |
最大产品尺寸 | 6-8寸 |
Cassette or smlf | 2个 |
温度范围 | 室温~1250℃ |
最高升温速度 | ≤30℃/s(载盘) |
温度均匀度 | ±3℃≤600℃ ±0.5%>600℃ |
温度控制重复性 | ±1℃ |
腔体数量 | 双腔 |
用户单位 | 采购时间 |
清华大学 | 2024/09/19 |
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询