| 型号： | RTP-SA-12 |
| 产地： | 广东 |
| 品牌： | 晟鼎 |
| 评分： |
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半自动快速退火炉RTP-SA-12
RTP-SA-12半自动快速退火炉红外卤素灯管加热，灯管功率PID控温，可精准控制温度升温，可测最大样品尺寸为12寸。
产品特点：
①红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；
②灯管功率PID控温，可精准控制温度升温，保证良好的重现性与温度均匀性；
③采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在WAFER表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性；
④大气与真空处理方式均可选择，进气前气体净化处理；
⑤标配两组工艺气体，最多可扩展至6组工艺气体；
⑥可测单晶片样品的最大尺寸为12英寸（300*300mm）；
⑦采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。
产品应用范围：
其他快速热处理工艺 砷化镓工艺
氧化物、氮化物生长 欧姆接触快速合金
硅化物合金退火 氧化回流
| 技术参数 | |
| 最大产品尺寸 | 4-12英寸晶圆或者最大支持300*300mm产品，兼容12寸及以下晶圆 |
| 温度范围 | 室温~1250℃ |
| 最高升温速度 | ≤25℃/s（Sic载盘） |
| 温度均匀度 | ＜500℃温度均匀性：±5℃，＞500℃时温度均匀性：±1% |
| 温度控制重复性 | ±1℃ |
| 温控方式 | 快速PID温控 |
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