进口高真空离子溅射仪
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进口高真空离子溅射仪

参考价:$5万
型号: Desk-V TSC
产地: 美国
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产品详情

【Emcrafts】第二代钨灯丝系列扫描电子显微镜配套小型离子溅射仪

针对绝大多数扫描电镜应用,高真空模式或高分辨模式,要求样品必须导电良好,否则样品表面荷电造成图像缺陷和分辨率恶化。在非导电绝缘材料表面制备1-10nm金属导电膜层是最常用的样品处理手段,可采用离子溅射镀膜法或热蒸发镀膜法,前者更为方便,使用更为广泛,离子溅射仪在很多情况下是扫描电子显微镜实验室标配。


DESK-V TSC型高真空小型离子溅射仪,采用磁控溅射方式,获得超级精细膜层,广泛用场发射扫描电镜超高分辨观察,或透射电镜样品制备碳支持膜,可用于其他高质量镀膜实验研究。采用专利的阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,没有热损伤。该溅射仪具有样品等离子清洗刻蚀功能,可选配蒸碳附件。

主要功能:

1、精细、超精细离子溅射导电膜制备;专业级金属膜层试验。

2、样品等离子刻蚀清洗

3、蒸碳镀膜

主要特点:

1、磁控溅射速度快。对于扫描电镜或透射电镜制样,抽真空-溅射-泄真空3分钟完成。

2、镀膜质量更高,可获得精细晶粒膜层,膜层结合力强度高。可使用结晶更细小的金属靶材。

3、对样品无热损伤的冷溅射。

4、样品等离子刻蚀功能,一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。

5、基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。

6、真空高压互锁安全机制

7、标准的操作软件,实时监控各部件状态,方便技术支持,节约用户费用。

性能指标:

标准配置

样品室:      φ150mm X 150mm(H) 不锈钢真空室,带观察窗

靶:          金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM(随机)φ50mmX0.1mm

样品台:      φ50mm 旋转样品台

溅射电流:    0-100mA

真空规:      皮拉尼+热电偶

溅射气体:    氩气

真空泵:      85L/Min 机械泵

             Pfeiffer 70 lps涡轮分子泵

             15分钟抽到5E-6Pa 极限真空。获得超高真空环境,提高镀膜质量

选配

膜厚监控:    石英晶体膜厚监控器

样品台:      φ75mm 旋转样品台

             φ100mm旋转样品台(选此台,膜厚监控器无法安装)

             旋转倾斜样品台 (选择此台,无法实现样品刻蚀功能)

蒸碳附件:    碳棒或碳丝绳

北京驰奔仪器有限公司为您提供进口高真空离子溅射仪Desk-V TSC,nullDesk-V TSC产地为美国,属于进口离子溅射仪,除了进口高真空离子溅射仪的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供Genesis-500+扫描电镜【EMCRAFTS】、Genesis-I 分析型扫描电镜(EmCrafts)、Veritas-300大样品仓扫描电镜【EMCRAFTS】,EmCrafts-中国客服电话,售前、售后均可联系。

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