型号: | Genesis-II型+ |
产地: | 韩国 |
品牌: | |
评分: |
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Genesis-II型plus是EMCRAFTS第二代钨灯丝扫描电子显微镜系列之中型分析电镜。
Genesis-II型+扫描电镜是全数字化控制,专业级电子显微成像分析仪器。
GenesisII型电镜采用立方结构样品室,拓展为中型样品仓,具有更大的有效分析空间,全内置五轴优中心自动样品台,更大的自由行程,更好满足电子显微拓展分析需要。Genesis-II型+具有低真空环境电子显微成像分析功能,非导电样品可直接测试。
硬件特征:
全数字控制,专业级电子显微成像分析能力 ;
主机电器一体化设计,占地小,便于移动 ;
中型样品仓,接配专业EDS、WDS、EBSD、CL等,优化探测器几何效率 ;
五轴优中心样品台,计算机导航马达驱动;
高速涡轮分子泵真空系统,高真空成像时间小于3分钟;
Se、 Bse双探测器双信号成像。
*精密五轴自动样品台
*优中心样品台
*多工位,更大,更多样品装载,更高效率工作
完全内置样品台,无真空活动密封,高可靠。
软件特征:
用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;
特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;
高效拍照:自动照相(Auto Imaging);
大图拼接:连续视野照片缝合;
信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;
鼠标键盘操作,简易快捷。
适用范围:
扫描电镜广泛应用于冶金、机械、陶瓷、化工、半导体、电子器件、纺织、生物学等行业领域,适用于科学研究,工业产品失效分析,产品可靠性控制。强大拓展能力,实现更高精度的电子显微成像分析。
安装示意图
性能指标:
型号 | Genesis-510plus全自动扫描电镜 |
样品台 | 五轴优中心,全自动 X:90mm | Y: 60mm | Z: 5-60mm | R:360°无限 | T:-20°~90° |
电子枪 | 预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 | 200V-30KV |
探测器 | E-T型二次电子探测器 四分割半导体背散射电子探测器 |
物镜光阑 | 20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 | 4nm @30KV ( SE Image) |
放大倍数 | 10-300,000 X |
样品室 | Se、Bse、EDS、WDS、EBSD、CL等探测器接口 |
样品尺寸 | Max~Φ150mm X60mm |
工作距离 | 0-60mm |
扫描光栅运动 | 电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° |
扫描模式 | 聚焦模式:320X240 像素 ,尺寸可变 TV模式:800x 600像素 慢扫描模式,用于TV及聚焦模式。 照相模式:800X600、960X720、1024x768、1600x1200、3200x2400像素 |
图像格式 | JPG、TIFF、bmp、PNG |
高级扫描模式 | 动态聚焦,倾斜补偿,点、线扫描 |
真空模式 | 高真空优于9x10-3Pa |
低真空模式 | 10-230pa |
真空系统 | 全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟) -涡轮分子泵 |
自动功能 | 亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动连续照相,自动大图拼接缝合 |
软件系统 | 基于Win8,Virtuoso1.1专用控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 | 600(W)x623(D)x 1350(H)mm /130kg |
电源 | 单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 | 预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,专用工具 |
可选配置 | 样品室摄像机 | 升级LaB6/CeB6阴极 | 3D重构成像软件 | 拉曼光谱 | EDS能谱仪 | WDS波谱仪 | EBSD 电子背散射衍射 | CL 阴极荧光 |电子束曝光装置 |
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