方案摘要
方案下载应用领域 | 半导体 |
检测样本 | 光电器件 |
检测项目 | |
参考标准 | / |
在制造过程中,异物颗粒和缺陷可能出现在晶圆的顶部 、底部、内部或之间。随着晶片厚度的减小,背面缺陷的检测变得越来越重要。缺陷包括被捕获的空气、气穴、微裂纹和其他由光子发射引起的细微特征,找到这些缺陷的位置是很重要的,缺陷起初不会影响芯片的功能,但未来会影响芯片的可靠性。
半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体都有着巨大的重要性。大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着密切的关联。
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在制造过程中,异物颗粒和缺陷可能出现在晶圆的顶部 、底部、内部或之间。随着晶片厚度的减小,背面缺陷的检测变得越来越重要。缺陷包括被捕获的空气、气穴、微裂纹和其他由光子发射引起的细微特征,找到这些缺陷的位置是很重要的,缺陷起初不会影响芯片的功能,但未来会影响芯片的可靠性。
Owl系列相机结合了高灵敏度、大靶面和高速度等优点,能够实现更快的检查速度,它们坚固耐用、紧凑、冷却稳定 ,确保了检测结果的可靠性,这两款相机已经被集成到半导体行业客户的检测系统中。(见图2 )相机的低噪声和高灵敏度特性允许快速检测Wafer中的缺陷,大大提高质量和可靠性。
图2 OWL系列相机集成在Wafer的检测系统
图3 OWL系列相机红外显微成像系统
该系统由OWL系列红外相机,Navitar显微镜头,卤素灯光源及滤光片构成,可以实现0.5x或1x视野的拍摄。
‍‍短波红外相机在太阳能电池缺陷检测的应用
短波红外相机除了能够应用在芯片制造领域,还能用于太阳能光伏面板的检测。
图4 从30mA-620mA和50ms-4ms曝光时间的CIGS短波红外相机成像,分辨率320x256
短波红外相机不只是能对现有的光伏发电设备进行预防性的维护,还能检测出电池在制造过程中的表征。这就要求其具备快速识别出有缺陷的太阳能电池的能力,这些电池是降低整体效率的罪魁祸首。
在这种情况下,大范围的面板在反向偏置下驱动,并在视频模式下由相机(SWIR或EMCCD)快速扫描。损坏或工作效率较低的电池立即出现,从而可以识别为恢复整体效率而应更换的电池板 。
图5 30 fps可变电流下太阳能电池板的短波红外相机视频截图
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