型号: | ContourX-500 |
产地: | 美国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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产品简介:
ContourX-500光学轮廓仪是世界上全面的快速,非接触式3D表面计量自动化台式系统。该系统集成了布鲁克专有的自动倾斜光学测头,可以完全编程并自动测试一定角度范围内的表面特征,并能大程度地减少跟踪误差。满足计量要求,具有无与伦比Z轴分辨率和准确性。
借助其新的USI通用扫描模式,本产品可以轻松地针对各种复杂应用场景定制分析方法。这些场景涵盖了从精密加工表面和半导体工艺制程,到眼科和MEMS器件的R&D表征。
产品参数:
ContourX-500 | |
最大扫描量程 | ≤10mm |
垂直分辨率 | <0.01nm |
水平分辨率 | 0.38 um/min(Sparrow 标准) |
0.13微米(使用AcuityXR) | |
台阶高度准确性 | <0.75% |
台阶高度重复性 | <0.1% 1 标准差重复精度 |
最大扫描速度 | 37 um's(带标准摄像头) |
样品反射率范围 | 0.05% to 100% |
最大样品倾角 | <40°(光滑表面) |
<87°(粗糙表面) | |
样品高度 | <100mm(4英寸) |
XY样品台 | 150 毫米(6 英寸)喷嘴平台 |
Z轴聚焦 | 自动 |
倾斜功能 | ±6°,可在平台上使用 |
光学计量模块 | 获得专利的双色 LED 照明:单目标适配器 |
可选自动或手动转塔 | |
可选电动或手动离散模块 | |
物镜 | 准焦距:2.5X.5X,10X,20X,50X,115X |
长焦距:1X,1.5X,2X,5X,10X | |
TTM: 2x,5x,10x,20x | |
亮场:2.5x, 5x, 10x, 50X | |
放大器 | 0.55,0.75X,1X 1.5X,2X |
摄像头 | 黑白(标准)或彩色(可选);500 万像素,1200x1000 数据阵列 |
软件系统 | Windows 10 0S 上的 Vision64 和 VisionXpress 分析软件 |
64位 | |
可选软件包 | USl: 高级 PSl;生产模式;VisionMAP;AcuityXR;光学分析;SureVision;胶片;MatLab;SDK,TCP/IP 先进的自动拼接、散射和网格自动化 |
自动测量功能 | 先进的自动拼接、散射和网格自动化标准自动对焦;自动强度;自动保存;实时分析;以及录入数据库 |
校准 | 通过 NIST/PTB 可追踪台阶高度和横向标尺标准 |
设备尺寸(W*D*H) | 480*604*754 mm |
重量 | 70Kg |
产品特点:
高级自动化功能
专有自动倾斜测头为生产和监测提供了无与伦比的灵活性。通过将自动倾斜测头与光学装置耦合在显微镜上,实现了测试位置不受倾斜角度影响的测量。进一步结合自动样品台和物镜塔台,使得ContourX-500非常适合“按需测量”工业要求,且占用空间小。
传统的俯仰滚动工作台设计需要操作人员调整五个旋转轴,以将检测点保持在视线上进行测量。布鲁克独特的光学头倾斜/俯仰设计,不受倾斜影响,都能将视线保持在检测点上,从而优化图像采集,并大幅缩短数据获取时间。
先进的台式三维形貌计量设备
与放大倍率无关的业界好Z轴分辨率,高级自动化功能,包含带编码器的XY轴样品台、自动测头倾斜和自动亮度调整,更紧凑的气动减震台设计
分析微流体器件的底部通道,通过Vision64的多个区域直接提取
优质的测量与分析功能
易于使用的界面,可快速准确地获得结果
广泛的自动化功能,可量身定制测量和分析程序
广泛的滤镜和分析工具
满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告
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