型号: | ContourX-200 |
产地: | 美国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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产品简介:
ContourX-200光学轮廓仪融合了高级表征、可定制选项和易用性,可提供一流的快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。该设备作为可用于计量的小尺寸系统,配置了大视场的5百万像素摄像头和新型电动XY载物台,可提供高性能的的2D/3D高分辨率测量功能。还配有业界最先进的操作和分析软件Vision64。最新的VisionXpress™提供了更易于使用的界面和简洁的功能,可访问多种预编程滤镜和分析工具,用于精密加工的表面、薄膜、半导体、眼科、医疗设备,MEMS和摩擦学等领域的测量分析。
产品参数:
ContourX-200 | |
最大扫描量程 | ≤10mm |
垂直分辨率 | <0.01nm |
水平分辨率 | 0.38 um/min(Sparrow 标准) |
0.13微米(使用AcuityXR) | |
台阶高度准确性 | <0.75% |
台阶高度重复性 | <0.1% 1 标准差重复精度 |
最大扫描速度 | 37 um's(带标准摄像头) |
样品反射率范围 | 0.05% to 100% |
最大样品倾角 | <40°(光滑表面) |
<87°(粗糙表面) | |
样品高度 | <100mm(4英寸) |
XY样品台 | 150 毫米(6 英寸)喷嘴平台 |
Z轴聚焦 | 自动 |
倾斜功能 | ±6°,可在平台上使用 |
光学计量模块 | 获得专利的双色 LED 照明:单目标适配器 |
可选自动或手动转塔 | |
可选电动或手动离散模块 | |
物镜 | 准焦距:2.5X.5X,10X,20X,50X,115X |
长焦距:1X,1.5X,2X,5X,10X | |
TTM: 2x,5x,10x,20x | |
亮场:2.5x, 5x, 10x, 50X | |
放大器 | 0.55,0.75X,1X 1.5X,2X |
摄像头 | 黑白(标准)或彩色(可选);500 万像素,1200x1000 数据阵列 |
软件系统 | Windows 10 0S 上的 Vision64 和 VisionXpress 分析软件 |
64位 | |
可选软件包 | USl: 高级 PSl;生产模式;VisionMAP;AcuityXR;光学分析;SureVision;胶片;MatLab;SDK,TCP/IP 先进的自动拼接、散射和网格自动化 |
自动测量功能 | 先进的自动拼接、散射和网格自动化标准自动对焦;自动强度;自动保存;实时分析;以及录入数据库 |
校准 | 通过 NIST/PTB 可追踪台阶高度和横向标尺标准 |
设备尺寸(W*D*H) | 480*604*754 mm |
重量 | 67Kg |
产品特点:
最高性能表面计量
与放大倍率无关的业界最好Z轴分辨率
最大尺寸的标准视场
稳定集成防震设计
卓越的测量与分析功能
易于使用的界面,可快速准确地获得结果
自动化功能用于日常测量和分析
最广泛的滤镜和分析工具选项,用于粗糙度和关键尺寸测量分析
满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告
无与伦比的一流计量设备
基于超过四十年的专有WLI创新,ContourX-200光学轮廓仪展现出定量计量所需的低噪声、高速、高精度的准确结果。通过使用多个镜头和集成的特征识别功能,设备可以在各种视野内以亚纳米垂直分辨率跟踪特征,从而提供不受放大倍数影响的结果,可用于各种不同行业中的质量控制和过程监控应用。
ContourX-200对于反射率从0.05%到100%的各种表面都非常易于测量。
最全面的分析能力
利用强大的VisionXpress和Vision64用户界面,ContourX-200提供了上千种定制分析参数,以提高实验室和工厂车间的生产率。系统新摄像头提供了更大视野,新型电动XY平台提供了更灵活定位能力,为各种样品和零件提供了更大的适用性和更高的测试通量。硬件和软件组合提供了对高可重复性和高通量计量学测量功能的便捷访问,超过了同类计量设备的能力。
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