型号: | ContourX-1000 |
产地: | 美国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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产品简介:
落地式ContourX-1000白光干涉(WLI)系统集成了Bruker在硬件和软件上的最新技术,可用于全自动三维表面纹理和粗糙度测量。全新的一键式高级寻找表面 (Advanced Find Surface ™)功能结合自动聚焦和自动照明功能,无需每次测量前手动查找样品表面,极大提升了用户体验且缩短测量时间。结合自适应测量模式USI和简洁的引导式 VisionXpress ™操作界面,ContourX-1000 在任何表面,任何操作人员,甚至多用户高负荷的生产设备下都可提供不打折扣的精确测量。
产品参数:
ContourX-1000 | |
测量模式 | PSI, USIVSl. 选配的 Film |
最大扫描量程 | ≤10mm |
垂直分辨率 | <0.01nm |
横向分辨率 | 0.38 um/min(Sparrow 标准) |
0.13微米(使用AcuityXR) | |
台阶高度准确性 | <0.75% |
台阶高度重复性 | <0.125% 1 标准差重复精度 |
最大扫描速度 | <122微米/秒(使用激光基准) |
样品反射率范围 | 0.05%-100% |
最大样品倾角 | ≤40°(光滑表面) |
≤87°(粗糙表面) | |
样品高度 | ≤100mm |
样品重量 | 45Kg |
XY样品台 | 300 mm 自动化(0.5 um 编码器);集成隔振台 |
Z轴聚焦 | 100mm 自动化 |
倾斜功能 | 机头自动化 +5° |
光学计量模块 | 获得专利的双 LED 照明 |
物镜 | 准焦距:2.5x,5x,10x,20x,50x,100x,115x |
LWD:1x,2x,5x,10x;TTM:2x,5x,10x,20x | |
明视场:2.5x,5x,10x,50x单目标适配器 | |
可选电动五位置转塔 | |
放大镜 | 0.55X、0.75X、1X1.5X、2X 自动感应模块 |
摄像头 | 500 万像素单色摄像头,带 1200x1000 数据阵列;可选彩色摄像头 |
软件系统 | Windows 10 LTs 64 位操作系统上的 Vision64* 和 VisionXpress |
可选软件包 | AcuityXR;高级 PSl;自动模式校准、MATLAB、多区域分析;光学微透镜分析;生产模式、SDK;TCP/lP、SureVision;Vision64 地图 |
报告语言 | 英语、德语、法语、意大利语、西班牙语、日语、中文、波兰语、韩语、巴西葡萄牙语、俄语 |
自动测量功能 | 自动对焦:自动强度、自动保存: 自动缝合:飞行分析;散射和网格自动化;数据库记录 |
校准 | 通过 NlST/PTB 可追踪步高和横向标尺标准;可选自动和连续内部激光信号 |
设备尺寸(W*D*H) | 852 x 793 x 1608 mm |
重量 | 493Kg |
产品特点:
可倾斜 / 俯仰光学头、双光源和先进的自动化功能可提供快速、灵活的生产车间内测量。
自校准激光和集成的防震台可确保极高的测量准确性和可靠性
提供的测量和分析软件带有简洁且有引导性 的程序和模式,更大程度的方便用户使用
光学轮廓分析设备硬件设计的巅峰
ContourX-1000 集成有 Bruker 专利的倾斜/俯仰光学头,特有的双光源、自动化的物镜转盘和样品台,以及可选配的晶圆卡盘。这些创新可为几乎所有的在研发和生产中的应用
提供快速且最优的解决方案,包括有难度的表面和深沟槽结构。
测量准确性与鲁棒性的基准
除拥有Bruker独有干涉技术无与伦比的测量和成像能力之外,ContourX-1000还配了专属的内部参考激光和防震台以获取最大的稳定性和与其他工具的匹配能力。即使在嘈杂的环境中,该系统也能确保测量性能
强大的自动化测量和分析的典范
全局扫描干涉 (USI) 自适应测量模式可自动确定最优的测量参数,即使在几十微米尺度内也可确保纳米级分辨率。简洁的且带有引导性的 VisionXpress 交互界面可去除操作人员经验水平的影响,快速得到最佳测试结果。即使在多用户环境中,每个使用者 都可通过高级查找表面功能,自动 聚焦功能和自动照明调整功能获取高质量的结果。使用全套兼容的软件包,从 SureVison 和多区域分析到 Vision64 Map ™ 和膜测量, ContourX-1000都可提供全方位的测量来满足您特定的应用需求。
显示有晶圆图形的自动化图形用户界面(GUI)
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