| 型号： | Excite Pharos |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | 特利丹 |
| 评分： |
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应用参数
基础研究、地质分析、半导体分析、同位素比值研究
样品种类：
半导体材料、透明玻璃、石英、金属材料
产品综述
Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统是目前市场上非常好用的激光剥蚀系统。它配备有一个结构紧凑且密封的工业级准直激光器。该系统可配置1028nm、257nm和206nm波长的激光器,若有需要也能设计使用其他波长的激光器。Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统能够实现10 J/cm2 (1028nm)、5 J/cm2 (257nm)和3 J/cm2 (206nm)的能量密度。长期稳定运行情况下，该系统剥蚀稳定度RSD能达到0.1%。
Excite Pharos 能够与HelEx II样品池相互配合，以提供一个快速、持续、稳定的冲洗和剥蚀环境。
Teledyne Photon Machines 公司拥有University of Michigan 提供的全球许可，提供飞秒激光剥蚀系统用于化学分析，涉及专利U.S. patent 5,656,186 and U.S. Reissue Patent RE 37,585。与这些University of Michigan专利相关的的专利侵权问题的保护也涉及到使用该技术的Teledyne Photon Machines 公司的用户。
性能参数
l Light Conversion Pharos 2mJ或者Pharos SP 1.5 mJ
l 激光波长：1028nm、257nm、206nm
l 脉冲持续时间小于190 fs - 10 ps
l 脉冲能量能达到2mJ
l 可调的脉冲频率：1Hz - 200kHz
l 波长转换范围广（谐波发生器、OPA、NOPA、连续发生器）
l 只有一次光学折射，用于展宽最小脉冲
l 每一波长都有独立的光路
l 独立的摄像机和激光光学组件能够更好的查看样品剥蚀点
l 从1 - 65微米连续可调的光斑大小
l 与HelEx II型主动样品池兼容
l 集成的冷却系统，减少碳排放
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