产品介绍:
TS3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发,该系统配备了MPI ShielDEnvironment™,可实现超低噪声,满足设备的需求表征,晶圆级可靠性以及RF和mmW等多种应用。
技术优势:
1、适用于多种晶圆量测应用
2、模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f,RTS
3、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
4、可靠性测试 - 精确的压力测试
5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
6、专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境,以得到 1/f 超低噪测试结果
7、支援 fA 级超低噪 IV 量测
8、可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作
9、具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C
产品应用:
适用于多种晶圆量测应用。
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