产品介绍:
YB600-A是150mm手动探针台系统,可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。
技术优势:
1、单机多应用设计
•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用,如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性
2、具备工效学设计
•XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计
•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台
•两段式工作台快升把手设计,接触(contact) - 分离(loading),实现高可靠性、高效率性
•具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台,搭配微调千分尺
3、弹性选配与升级性
•另有多种晶圆载物台可做升级,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载,以完全支援您的应用需求
4、高压人机安全防护设计
•Platen 底部特征聚合物高压防护设计
•Chuck 独特安全隔离防护设计
•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆(标准 SHV Coaxial 接口)通用
keithley&keysight 高压仪表
•红外感测 interlock 安全互锁机制
应用方向:
该系统主要应用于晶圆级高频电学特性的测试,可升级最高频可达110G测试,满足于6寸及以下产品应用。具备多模块应用升级,如高温,防震屏蔽,光学等。
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