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等离子清洗机在半导体、电子材料干式清洗中的应用越来越广泛，如硅胶片的光刻胶剥离、除去有机膜、界面活性化、微细研磨、除去碳化膜等领域，等离子产品都发挥了积极的作用。从研究开发到工艺生产使用，从表面微细加工到表面处理改质，等离子设备有着很广的社会应用需求。在多个领域也都有普遍应用。

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等离子清洗机的八大应用

等离子清洗机在半导体、电子材料干式清洗中的应用越来越广泛，如硅胶片的光刻胶剥离、除去有机膜、界面活性化、微细研磨、除去碳化膜等领域，等离子产品都发挥了积极的作用。

从研究开发到工艺生产使用，从表面微细加工到表面处理改质，等离子设备有着很广的社会应用需求。在多个领域也都有普遍应用。

1、半导体相关：

晶圆光阻附着力的提高;晶圆光阻的去除(灰化);晶圆光阻残留物去除；MEMS叠加强度的提高LED。

2、光学相关：

镜片粘连、除雾；涂装前处理；眼镜镜片涂装前处理；隐形眼镜亲水性提高。

3、生物、医用相关：

微芯片强度提高；微芯片流道亲水性提高；导管、导管针粘连强度提高。

4、低温灰化：

石棉分析前处理；设备分析用前处理。

5、FPD相关：

液晶屏粘合强度提高；保护、偏光板附着力提高等。

6、IC/LED组装相关：

基板电极部引线键合强度提高；芯片叠合（芯片粘连）粘连性提高；基板封装（成型粘）连性提供；树脂底部通孔残留物的去除（胶渣）。

7、新材料：

高分子材料粘合强度提高；高分子材料涂装前处理；粉体样品粘合、形成前处理。

8、机电一体化：

液晶屏粘合强度提高，保护、偏光板附着力提高等。

关于等离子清洗机的应用就介绍到这里了，想了解更多相关资讯请继续关注本网站。

文献贡献者

浚和(上海)仪器科技有限公司

白金会员丨第6年

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