平面度测量法

平面度属于形位公差的一种，是实际平面相对理想平面变动量的一项指标；它是针对平面发生不平而提出的要求。

平面度误差测量的常用方法有如下几种：

平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。主要用于测量小平面。

打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放于标准大理石平台上，以标准大理石平面作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。打表测量法评定基准面分为三点法和对角线法，三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面，实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准大理石平台等高；对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高，然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的大变动量即为该实际表面的平面度误差。

液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由连通罐内的液面构成，然后用传感器进行测量。此法主要用于测量大平面的平面度误差。

光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。

以上平面度测量法都为传统平面度测量法，现今工业对产品的平面度要求及数据报表要求越来越高，接下来我们来看看高精度平面度测量方法：

光学影像测量法：光学影像测量法是2.5次元影像测量仪采用非接触式光学Z轴自动对焦模式，对产品平面取多点拟合成一个平面，从而通过软件运算其平面度值。但因为是多点对焦模式，测量速度较慢，且测量精度有限。