【高校设备更新实施方案】来了！焕新国产—扫描电镜助力科研

国仪量子技术（合肥）股份有限公司

【高校设备更新实施方案】来了！焕新国产—扫描电镜助力科研

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电子显微镜是利用聚焦的电子束与样品中的原子相互作用，从而产生超高放大倍率的图像，可以突破光学显微镜的分辨率极限，实现纳米级别的观察。可广泛应用于半导体制造、新能源、材料科学、生命科学、地球科学等应用领域中。

聚焦离子束镓离子束扫描电镜DB500产品优势：

高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒，高分辨率成像，兼容磁性样品

“承影”离子镜筒，高稳定、高质量的离子束流，用于高质量纳米加工和TEM制样

样品仓内压电陶瓷驱动的机械手，集成式控制方式，操作精准到位

自主可控，扩展性强，集成化设计的离子源更换时间快，极致的售后服务，提供免费的三年质保无忧服务

场发射扫描电镜5000X产品优势：

超高分辨率成像，达到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

样品台减速和高压隧道技术组合的双减速技术，挑战极限样品拍摄场景

高精度机械优中心样品台、超稳定性的机架减震设计，可搭配整体罩壳设计，极大减弱环境对极限分辨率的影响

最大支持8寸晶圆(最大直径208 mm)的快速换样仓，满足半导体和科研应用需求

钨灯丝扫描电镜SEM3200产品优势：

丰富的扩展性---SE\BSE\EDS\EBSD等

光学导航---可快速定位目标样品和感兴趣区域

*大图拼接---可实现全自动的采图和拼接，展示超大视野画面

图像混合成像（SE+BSE）---在一个图像中观察到样品的成分和表面信息

双阳极结构设计，提升了低电压下的分辨率和成像质量

*低真空模式---在低真空下提供样品表面细节和形貌，软件一键切换真空状态

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