离子溅射仪 MC1000

离子溅射仪 MC1000

参考价：¥100万 - 200万
型号： MC1000
产地： 日本
品牌： 日立
评分：
核心参数
似空科学仪器（上海）有限公司
金牌会员 丨 6年
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产品详情

采用磁控型电极，最大限度地减轻对样品的损坏。

特色

  • 采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件

  • 可处理较厚或较大的样品(选配件)

  • 记忆功能可存储常用加工条件

规格

项目说明
放电类型磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
电极组成反向平行盘(嵌入磁铁)
电压最大 0.4 kV DC(直流可变)
电流最大 40 mA DC
喷镀速率 *1(最大)
[条件]
压力：7 Pa
放电电流：40 mA
标靶与样品表面之间的距离：20 mm		Pt 靶(选配件)15 nm/min
Pt-Pd 靶(选配件)20 nm/min
Au 靶(选配件)35 nm/min
Au-Pd 靶(选配件)25 nm/min
样品尺寸最大直径φ60 mm
最大高度20 mm
机械泵135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸宽度450 mm
长度391 mm
高度390 mm
重量主机：约 25 kg
机械泵：约 28 kg


似空科学仪器（上海）有限公司为您提供日立离子溅射仪 MC1000，日立MC1000产地为日本，属于透射电子显微镜（透射电镜、TEM），除了离子溅射仪 MC1000的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多透射电子显微镜（透射电镜、TEM）,似空科仪客服电话400-860-5168转4452，售前、售后均可联系。

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