SAMCO RIE等离子蚀刻设备 RIE-10NR
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SAMCO RIE等离子蚀刻设备 RIE-10NR

参考价：面议
型号： RIE-10NR
产地： 日本
品牌： SAMCO
评分：
核心参数
似空科学仪器（上海）有限公司
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产品详情

 

反应离子刻蚀机

SAMCO RIE-10NR

 





简介：

RIE-10NR是一种新型的低成本、
高性能、全自动反应离子刻蚀系统，
能够满足非腐蚀性气体化学最苛刻
的工艺要求。
计算机化触摸屏为工艺配方编
程和存储提供了用户友好的界面。
该系统可以实现精确的侧壁轮
廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。
凭借其圆滑、紧凑的设计，
RIE-10NR只需要很小的洁净室空间。
 
应用:
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、
砷化镓、钼、铂、聚酰亚胺等材料的
腐蚀失效分析中的选择性层腐蚀。




 

 

 

 

 

 

 

主要功能和优点：
1、加工至ø220 mm（ø3“x 5，ø4”x 3，ø8”x 1）。
2、高选择性各向异性蚀刻满足严格的工艺要求全自动“一键式”操作。
3、自动压力控制，允许独立于气流干泵和系统布局的过程压力精确控制，便于维护。
4、于Windows的用户界面，丰富的配方和内置的数据记录功能，是一个可靠和持久的系统，全球安装了400多个系统。
 
 
 
主要参数规格：
基板
220 mm（ø3“x 5，ø4”x 3，ø8”x 1）
负载
开放式
上下电极
ø240 mm
射频功率
300瓦@13.56兆赫，自动匹配（500瓦为选项）
可切换射频供电电极（阳极/阴极模式）为选项
气体管道
内部2条MFC控制的气体管道（最多6条）
泵
干泵（500升/分钟）
操作系统
触摸屏操作（可选择基于Windows的用户界面）、配方管理
端点检测
光学发射光谱（OES）作为一种选择
尺寸
500 mm（宽）x 920 mm（深）x 1501 mm（高）

 

 
 
 
                   
 
 
 

 


似空科学仪器（上海）有限公司为您提供SAMCO RIE等离子蚀刻设备 RIE-10NR，SAMCORIE-10NR产地为日本，属于进口等离子体刻蚀设备，除了SAMCO RIE等离子蚀刻设备 RIE-10NR的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供激光芯片开封机 SMART ETCH II-SE、激光芯片开封机 SMART ETCH UV、半导体裂片仪MC600i,似空科仪客服电话400-860-5168转4452，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 90天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训；提供付费培训
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