型号: | GD |
产地: | 韩国 |
品牌: | |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
量产型 薄膜封装专用 原子层沉积系统(R2R ALD)主要应用于有机半导体((Micro)OLED,QD,OPV,钙钛矿光伏....)在线批量生
产的薄膜封装(TFE).可对平板Panel或柔性(Flexible)基底进行卷对卷(R2R)封装.
在OLED Panel厂产线有广泛应用!
主要应用:
-硅基WVTR(水蒸气透过率)的阻挡层
-Micro-OLED封装层
-柔性衬底用阻挡层
-OLED封装层
-柔性OLED显示器、柔性OLED照明、量子点、柔性太阳能电池等高水分阻隔膜的卷对卷(R2R)ALD工艺:
特点:
1.ALD超薄高k介质,厚度均匀性好,100%保形步进覆盖。
2.先进的工艺套件和小体积的短周期室
3.极限地实现了ALD机构(行波法)
4.小脚印全集成工艺模块
5.过程控制方便,供气线路长度最小。
应用尺寸:370*470mm,730*920mm,1500*1850mm....
相关产品
经典型探针台(Probe Station)
高温型探针台(Probe Station)
Mini真空探针台(8ch)
Mini真空探针台(Vacuum Chamber Probe station)
多通道 微真空探针台
经典型真空探针台(Vacuum Chamber Probe station)
LCD探针台(LCD Probe station)
磁力探针台(Magnet Probestation)
射频探针台(RF Probestation)
半自动型探针台(Semi Auto Probestation)
高功率探针台(High Power Probestation)
PCB探针台(Board Probestation)
四探针测试系统(手动款)
四探针测试系统(半自动款)
四探针测试系统(自动款)
关注
拨打电话
留言咨询