| 型号： | Scorpio |
| 产地： | 台湾 |
| 品牌： | 易捷测试 |
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Scorpio HCI/BTI/GOI/TDDB晶圆级可靠性测试系统，附加快速VTDDB和多电压电平VSILC功能，允许连续应力偏置，和短时间开隔监测，用在晶圆级应用的高分辨率击穿时间。
Scorpio- HCI / BTI / TDDB / hiVIP
达288个待测器件 (DUT) 的并行封装级可靠性测试
并行晶圆级测试与单通道有16个站点的25个通道 (共400个通道)
可配置4个烤箱或与烤箱/探针台混合设置
每通道源标准配置25V/0.1A，或每板源高电压达200V/1.0A
所有低泄漏电通道降低到1pA/V，用于栅极泄漏 (gate leakage) 和流出关闭状态 (drain off-state) 电流测试
无假器件故障的系统级EOS/ESD保护
资格验证能力
正反向漏电源测试和栅级/基底电流表征的热载子注入可靠性
支持 on-the fly OTF-NBTI 和专用测试方法
低漏电流经时电介质击穿 (TDDB) 的应力诱生漏电流测试 (SILC tests) ， 量测可低至10pA
高压金属氧化物半导体热载流子效应，或金属介电层经时电介质击穿， 最高至200V
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