型号: | SPTS 物理气相沉积系统- Sigma® |
产地: | 德国 |
品牌: | |
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SPTS 物理气相沉积系统- Sigma
SPTS作为的深硅刻蚀和物理气相沉积系统的供应商,能够提供一系列的解决方案来满足客户的生产和开发要求。通过一系列的技术的开发,SPTS能为客户提供一系列的先进的工艺,比如功率MOSFET和200mm和300mm晶圆上的端封装(3D封装和芯片级封装)。
系统简介
SPTS 物理气相沉积系统Sigma可以用于金属、介质薄膜的沉积。具备多种产品设计,满足不同客户需要。
市场
● MEMS
● 先进封装
● 功率器件
● LED
● 射频IC
优势:
● 单晶片工艺,相比多片工艺,良率、性能大大改善
● 对于特殊应用,可以选择"超级均匀性" 选项
● 可以操作易碎的、超薄的或弯曲的晶片
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