特点：

等离子密度与向基板入射的能量能够单独控制，因此Process window宽。

均一性好。

离子性蚀刻到radical性蚀刻都能都大幅度控制。

构造简单，维护性能优越。

来自半导体技术研究所的工艺支持体制。

CS（Customer’s Support ）解决方案的综合服务体制。

可选Cassette室，提高生产量。

丰富的Process Application：

1.ISM: Inductively Super Magnetron有磁场ICP型

2.ISM是可以由低电源得到稳定均一的放电，达到Damage最少的蚀刻。

3.使用不挥发性材料的次时代memory‐Al2O3,磁性体，Pt, Ir, PZT, SBTO 等

4.超高频率器件，光器件。

‐绝缘膜，GaAs/AlGaAs(In),AlGaInP,InP,SiC,ZnSe, Sapphire，GaN，STO/Pt, Au/Pt, W, WSi, Ti, Mo, Ta, BCB, Polyimide，BST, STO

5.各种传感器器件等Photo Nic结晶。

6.MEMS(micromachine）

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供ICP 刻蚀机：高密度等离子蚀刻装置NE-550 ，nullICP 刻蚀机：高密度等离子蚀刻装置NE-550 产地为英国，属于其他，除了ICP 刻蚀机：高密度等离子蚀刻装置NE-550 的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	ICP 刻蚀机：高密度等离子蚀刻装置NE-550
产地：	英国
品牌：
评分：

ICP 刻蚀机 ：高密度等离子蚀刻装置NE-550

特点：

丰富的Process Application：

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