型号: | PICOSUN®Morpher |
产地: | 芬兰 |
品牌: | |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
PICOSUN原子层沉积系统ALD
PICOSUN®Morpher
PICOSUN®Morpher ALD产品平台旨在颠覆Beyond和超越摩尔技术中的200毫米晶圆产业。它以领先的过程质量,可靠性和操作敏捷性,实现了MEMS,传感器,LED,激光器,功率电子器件,光学器件和5G组件的快速,全自动,高通量生产。从公司研发到生产和铸造制造的所有业务领域,Morpher都能适应您行业不断变化的需求和客户的需求。基质材料,基质和批量大小方面的领先多功能性以及广泛的工艺范围,使Morpher真正成为可转变的,包罗万象的制造设施,使您始终引领行业。
PICOSUN®Morpher设计用于结合行业标准的单晶圆真空集群平台来全自动处理晶圆批次。的获得 的晶圆批量翻转机制使该系统能够与半导体生产线集成,在该生产线中,大多数处理都是在水平几何结构中进行的,并且SEMI S2 / S8认证可确保该系统与业界zui严格的标准兼容。
PICOSUN®Morpher ALD系统可通过SECS / GEM协议集成到工厂自动化中,而zui先进的软件可通过直观,精简的图形用户界面为系统提供简单,安全和无故障的操作。凭借我们获得 的双室,热壁反应器设计以及完全分离的前驱体导管和入口,我们可以创造出zui高质量的ALD膜,具有优异的产率,低颗粒水平以及出色的电学和光学性能。紧凑的,符合人体工程学的设计以及便捷的维护,确保了系统停机时间zui少,市场拥有成本zui低。
相关产品
CAMTEK半导体AOI设备
亚科电子-超高分辨率电子束光刻EBL
EVG800系列键合机:EVG810LT(低温)等离子激活系统
TRYMAX 等离子除胶机 型号:NEO系列
CAMTEK 自动AOI设备 碳化硅(SiC) 应用
Bruker原子力显微镜-- Dimension Icon
CAMTEK 自动AOI设备 CMOS图像传感器检查
Bruker原子力显微镜-- Dimension Edge
Bruker原子力显微镜-- Dimension FastScan
EVG自动化生产晶圆键合系统GEMINI
EVG320 D2W 混合键合面激活和清洁系统
ContourX-200用于表面纹理计量的灵活台式
EVG®610 掩模对准系统(光刻机)
Hysitron TS 77 Select 纳米压痕仪
Bruker Hysitron TI 980纳米压痕仪
关注
拨打电话
留言咨询