Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

产品详情

Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。Centrotherm Oxidator 150 经过专业的研发, 能够满足 SiC 圆片的高温氧化工艺; 同时亦可用于常规的硅圆片的氧化。Centrotherm Oxidator 150 卓越的反应腔具有性能高、占地小和生产成本低等特点，为客户提供最高的工艺灵活度, 同时能够保证有毒气体的安全使用。

设备特点：

炉管和加热器均处于真空密闭反应腔内，上下料腔室可用Ar或 N2 进行吹扫，可以保证有毒气体（如 NO、N2O、H2、NO2 等）的安全使用。

氧化工艺使用 N2O 气氛，可以改善 SiO2/SiC 接触表面以获得更高的通道迁移率，同时可提高SiC表面氧化物的稳定性和寿命。

提供带有氢氧合成系统的湿氧工艺。

高达 1350 ℃ 的温度和其他支持功能为 SiC 氧化工艺和低界面陷阱密度, 高通道移动率的氧化层研制提供可能。

二、适用工艺

高温SiC或Si氧化

氧化后退火（氢气环境）

三、产品特性

性能

圆片尺寸： 2″、3″、4″、6″

工艺温度： 900 ℃ ~ 1350 ℃

真空度：小于10^-3 mbar

占地面积小： 1.8m²

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150，nullCentrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150产地为德国，属于进口退火炉，除了Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

问商家

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 北京亚科晨旭科技有限公司
企业类型:
信用代码: 110105009081828
成立日期: 2005年11月28日
注册资本: 500
经营范围: 技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）

型号：	Centrotherm 高温氧化系统-Oxidator 150
产地：	德国
品牌：
评分：