SmartView NT 自动键对准系统

SmartView NT 自动键对准系统

参考价:面议
型号: SmartView®NT 自动键对准系统
产地: 奥地利
品牌: EVG
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SmartView® NT

Automated Bond Alignment System for Universal Alignment

SmartView®NT 自动键对准系统,用于通用对准 

全自动键合对准系统,采用微米级面对面晶圆对准的专有方法进行通用对准 

    用于通用对准的SmartView NT自动键合对准统提供了微米级面对面晶圆级对准的专有方法。这种对准技术对于在领先技术的多个晶片堆叠中达到所需的精度至关重要。 SmartView技术可以与GEMINI晶圆键合系统结合使用,以在随后的全自动平台上进行永久键合。

特征

适用于200毫米和300毫米配置的自动化和集成式EVG粘合系统(EVG560®,GEMINI®)

用于3D互连,晶圆级封装和大批量MEMS器件的晶圆堆叠

通用键对准器(面对面,背面,红外和透明对准)

无需Z轴运动,也无需重新聚焦

基于Windows®的用户界面

将键对对准并夹紧,然后再装入键合室

手动或全自动配置(例如与GEMINI®集成


北京亚科晨旭科技有限公司为您提供EVGSmartView NT 自动键对准系统SmartView®NT 自动键对准系统,EVGSmartView®NT 自动键对准系统产地为奥地利,属于进口无掩模光刻机/直写光刻机,除了SmartView NT 自动键对准系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,ASTchian客服电话400-860-5168转4552,售前、售后均可联系。

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