EVG 320 自动化单晶圆清洗系统_价格-北京亚科晨旭科技有限公司

EVG 320 自动化单晶圆清洗系统

参考价：¥150万 - 200万

型号：

EVG 320 自动化单晶圆清洗系统

产地：

奥地利

品牌：

EVG

评分：

产品详情

EVG®320 Automated Single Wafer Cleaning System

EVG®320 自动化单晶圆清洗系统

自动单晶片清洗系统，可有效去除颗粒

EVG320自动化单晶圆清洗系统可在处理站之间自动处理晶圆和基板。机械手处理系统可确保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自动预对准和装载晶圆。除了使用去离子水冲洗外，配置选项还包括兆频，刷子和稀释的化学药品清洗。

特征

多达四个清洁站

全自动盒带间或FOUP到FOUP处理

可进行双面清洁的边缘处理（可选）

使用1 MHz的超音速喷嘴或区域传感器（可选）进行高效清洁

先进的远程诊断

防止从背面到正面的交叉污染

完全由软件控制的清洁过程

EVG320技术数据

晶圆直径（基板尺寸）200、100-300毫米

清洁系统

开室，旋转器和清洁臂

腔室：由PP或PFA制成（可选）

清洁介质：去离子水（标准），其他清洁介质（可选）

旋转卡盘：真空卡盘（标准）和边缘处理卡盘（选件），由不含金属离子的清洁材料制成

旋转：最高3000 rpm（5秒内）

超音速喷嘴：频率：1 MHz（3 MHz选件）；输出功率：30-60 W；

去离子水流量：最高1.5升/分钟；有效清洁区域：?4.0 mm；材质：聚四氟乙烯

兆声区域传感器：可选的；

频率：1 MHz（3 MHz选件）

输出功率：最大2.5 W /cm2有效面积（最大输出200 W）

去离子水流量：最高1.5升/分钟

有效的清洁区域：三角形，确保每次旋转时整个晶片的辐射均匀性

材质：不锈钢和蓝宝石；材质：PVA

北京亚科晨旭科技有限公司为您提供EVG 320 自动化单晶圆清洗系统，EVGEVG 320 自动化单晶圆清洗系统产地为奥地利，属于进口湿法清洗设备，除了EVG 320 自动化单晶圆清洗系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法清洗设备,ASTchian客服电话400-860-5168转4552，售前、售后均可联系。

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