DDCOM 台式晶体定向仪
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DDCOM 台式晶体定向仪

参考价：面议
型号： DDCOM
产地： 德国
品牌： 弗莱贝格仪器
评分：
弗莱贝格仪器（上海）有限公司
银牌会员 丨 5年
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产品详情

超高速Omega扫描方法

  • 比Theta扫描方法快200倍

  • 自动评估三维完整的晶格方向

  • 在5秒内测定整个晶体的方位

紧凑，用户友好和成本效益

  • 易于移动和轻量级的桌面设计

  • 样品处理方便，操作方便

  • 空气冷却x射线管能耗低，运行成本低(无需水冷)

有效的质量控制流程

  • 用于标准研究和工业工作流程

  • 晶体方位设定及标示

  • 预编程立方晶体参数

  • 先进方便的软件

  • 精度高，例如高至(1/100)°

控制切割、研磨和抛光

  • 单晶的完全晶格取向

  • 适用于各种尺寸和重量范围大的独特材料，如：2-12英寸的晶圆片和20公斤以下的晶锭


特点

  • 确定单晶的完全晶格取向

  • 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

  • 立方晶体任意未知取向的测定

  • 特别设计用于点阵方向的方位设置和标记

  • 气冷式x射线管，无需水冷

  • 适合于研究和生产质量控制
















可测量材料的例子

  • 立方/任意未知方向：Si, Ge, GaAs, GaP, InP                               

  • 立方/特殊取向：Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

  • 正方：MgF2, TiO2, SrLaAlO4

  • 六方/三角：SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英)，Al2O3(蓝宝石)，GaPO4, La3Ga5SiO14

  • 斜方晶系：Mg2SiO4 NdGaO3

  • 可根据客户的要求进一步选料

               在5秒内一次旋转中被捕获

DDCOM的应用

平面方向的标记和测量

Omega扫描能够在一次测量中确定完整的晶体方位。因此，平面方向可以直接识别。这是一个有用的功能，以标记在平面方向或检查方向的单位或缺口。

在晶圆片的注入和光刻过程中，平面或凹槽作为定位标记。经过加工后，晶圆片携带数百个芯片，需要通过切割将其分离。

晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此，检查平台或缺口的位置是必要的。为了确定平面或缺口的位置，必须测量平面内的部件。

该仪器通过旋转转盘，可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。这简化了将标记应用到特定平面方向的任务，例如必须定义平面方向时。

对于高吞吐量应用程序，可提供自动测量解决方案。

 



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