弗莱贝格仪器Freiberg微波检测光诱导电流瞬态光谱仪(MD-PICTS)-MD-PICTS-

Freiberg微波检测光诱导电流瞬态光谱仪(MD-PICTS)-

参考价：¥100万 - 150万

型号：

MD-PICTS-

产地：

德国

品牌：

弗莱贝格仪器

评分：

产品详情

应用方向：

● 半导体材料少子寿命

● 半导体材料质量控制

● 缺陷种类确定：激活能，俘获截面等参数

应用材料范围：

硅| 化合物半导体 | 氧化物| 宽带隙材料| 钙钛矿 | 外延层

为了研究半导体中的缺陷，利用温度依赖的深能级瞬态光谱学(DLTS)得到了广泛的应用。通常这些方法都需要在样品上形成接触，这意味着样品本身往往由于退火步骤而改变。此外，对于许多半导体来说，要产生欧姆接触还需要更多的处理。MD-PICTS是一种非破坏性的、非接触的方法，它的活化能和捕获截面的缺陷可以确定一个较高的精度。

对于MD-PICTS测量，用谐振微波腔测量光照射后样品的光导率。为了确定活化能，光电导率瞬态的温度变化通过窗口分析确定，该方法也用于DLTS测量(图1)。图2是窗口分析得到的所谓的MD-PICTS光谱。这个光谱中的每个峰都是样品中的一个缺陷。

根据这个发射速率公式，在Arrhenius图上画出该峰值较大值的温度位移:

从Arrhenius图的斜率(图3)可以确定活化能。

有了新型的商品化的德国Freiberg MD-PICTS设备，可以测量20 - 500 K范围内温度依赖性的瞬态光电导。在过去，用这种方法已经成功地研究了硅、砷化镓、磷化铟、碳化硅等许多半导体。

图1.描述瞬态光电导率窗口分析

图2.MD-PICTS光谱图

图3.Arrhenius图

图4.不同回火Cz-Si晶片的MD-PICTS光谱图示例

技术参数

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