单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备 MDPlinescan-
优选

单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备 MDPlinescan-

报价：¥100万 - 150万
型号： MDPlinescan-
产地： 德国
品牌： 弗莱贝格仪器
评分：
弗莱贝格仪器（上海）有限公司
银牌会员 丨 5年
关注展位 全部仪器
核心参数
产品详情
简介
该设备适用于硅、化合物半导体、氧化物、宽带隙材料、钙钛矿及外延层的无接触非破坏性少子寿命成像测试，符合半导体行业标准SEMI PV9-1110。其优势包括高灵敏度、高分辨率、快速测试（1秒内完成156mm线扫描）、宽泛的寿命测试范围（20ns至几十ms）、广泛的样品适用性及高可靠性和重复性（>99.5%）。


应用材料范围：

●  硅|化合物半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层

无接触且非破坏的少子寿命成像测试：(μPCD/MDP(QSS),光电导率，电阻率和p/n型检测。

●  符合半导体行业标准 SEMI PV9-1110

可提供灵活OEM方案，用于材料生长和不同外延层工艺少子寿命测试



MDPlinescan单晶和多晶少数载流子寿命在线测试设备优势介绍：

●  灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的

●  高分辨率

●  测试速度: 1s内完成对156mm的线扫描，与常规生产速度相匹配

●  寿命测试范围: 20ns到几十ms

●  测试能力: 从切割的晶圆到所有工艺中的样品

●  可靠性: 灵活的OEM方案，具有更高的可靠性，使用时间> 99%

●  重复性: > 99.5%


技术参数

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