MBRAUN 布劳恩 PROvap 真空镀膜系统
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MBRAUN 布劳恩 PROvap 真空镀膜系统

参考价：¥60万 - 150万
型号： PROvap
产地： 德国
品牌： 布劳恩
评分：
核心参数
布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
金牌会员 丨 4年
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产品详情

  • 集成手套箱

  • 紧凑型设计

  • 经济型解决方案

  • 多源共蒸

  • 一致性标准偏差在+/-3 %区间 (几何式设计可缩小至+/-1 %)

  • 最多可实现8源共蒸

  • PROvap 4G支持100x100 mm方片或6"晶圆

  • PROvap 5G支持150x150 mm方片或8"晶圆


应用：

  • 储能电池

  • 金属镀膜

  • 光学镀膜

  • 半导体器件

  •       光伏电池

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