MBRAUN布劳恩 OPTIvap 真空镀膜系统
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MBRAUN布劳恩 OPTIvap 真空镀膜系统

参考价：¥90万 - 200万
型号： OPTIvap
产地： 德国
品牌： 布劳恩
评分：
核心参数
布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
金牌会员 丨 4年
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产品详情

  • 高度定制化系统

  • 可多台设备模块化组合成团簇集群式（cluster）或直线式（in-line）系统

  • 多掩膜板/基片切换系统

  • 可升级为与手套箱集成版本

  • 标准膜厚均匀性：+/- 3 %（特殊定制可实现+/- 1 %）

  • OPTIvap 4支持：100x100 mm方片或6“晶圆

  • OPTIvap 6支持：210x210 mm方片或12“晶圆


应用：

  • 储能电池

  • 有机光电器件（OLED,OPV）

  • 光学镀膜

  • 半导体器件、光伏电池

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