型号: | MINIvap |
产地: | 德国 |
品牌: | 布劳恩 |
评分: |
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可集成MBRAUN手套箱(由过渡舱实现连接)
· 可处理50 x 50 mm大小的晶圆基板
· 紧凑型设计
· 低成本、经济型方案
· 交货快
· 安装简单、方便
· 易于工艺改造和提升
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