型号: | MINIPEROvap |
产地: | 德国 |
品牌: | 布劳恩 |
评分: |
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小型PVD腔室,专门用于钙钛矿蒸镀
· 可集成于MBRAUN 手套箱(由过渡舱实现连接)
· 紧凑型设计
· 可用于50x50 mm大小的基板
· 可实现多源共蒸(4个蒸发源)
· 膜厚一致性标准偏差在+/-5%区间
· 经济型方案
· 交货快
· 有利于工艺改进和提升
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