迈纳德等离子体增强型原子层沉积系统设备MNT-P

参考价：¥100万 - 200万

型号：	MNT-P
产地：	江苏
品牌：	无锡迈纳德
评分：

核心参数

产地类别：国产
衬底尺寸： 4-8英寸
工艺温度： 80-300℃
前驱体数： 4-8路
重量： 500kg
尺寸(W x H x D)： 1280*800*1720mm
均匀性：参考样品台尺寸

展位推荐更多

PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统

台式原子层沉积系统

牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统

产品详情

反应腔体	横流模式的单腔反应腔/喷淋模式的双腔反应腔
等离子体产生方式	电容式CCP/电感耦合ICP
衬底规格	4-8寸单片三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-400 ^oC，控制精度±1^oC @单腔 RT-500 ^oC，控制精度±1^oC @双腔
阀门	Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 ^oC
前驱体源	液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容器，其他规格可定制可配备4-8路前驱体源
等离子体气源	H2/O2/NH3/ N2
载气	Ar，质量流量控制器
管路源容器加热温度	配可拆卸加热套，RT-250 ^oC，控制精度±1^oC
真空系统	油泵、防腐油泵、干泵可选
压力传感器	检测范围1000-2.3*10-4 Torr
真空管路	烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃
控制	触摸屏+PLC
机柜	可移动铝型材框架，不锈钢面板尺寸：12808001720mm
选配	臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置

江苏迈纳德微纳技术有限公司为您提供无锡迈纳德迈纳德等离子体增强型原子层沉积系统设备MNT-P，无锡迈纳德MNT-P产地为江苏，属于国产原子层沉积设备，除了迈纳德等离子体增强型原子层沉积系统设备MNT-P的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,MNT NANOTECH客服电话，售前、售后均可联系。

迈纳德等离子体增强型原子层沉积系统设备MNT-P

问商家