牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统
牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统
牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统
优选

牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统

参考价：¥10万 - 50万
型号： ALD OpAL
产地： 英国
品牌： 牛津仪器
评分：
应用领域：
共1个 查看经典案例
核心参数
牛津仪器科技（上海）有限公司
白金会员 丨 23年
关注展位 全部仪器
产品详情

OpAL系统是一种带有等离子体选项的直开式热原子层沉积（ALD）设备。 它可通过清晰而易行的途径升级为等离子体 ALD，这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD。

  • 紧凑型直开式热原子层沉积（ALD）设备，带有等离子选项

  • 适用于小尺寸至200mm的晶圆片

  • 蒸汽吸取或鼓泡四种液体或固体前驱体

  • 实时检测选项，包括与ALD控制软件相联的光谱椭偏仪

  • ALD产品家族涵盖的系列设备可以满足学术界、企业研发和小规模生产的多种需求

  • 实时监测选项，包括与ALD控制软件相联的光谱椭偏仪

  • OpAL系统可通过清晰而易行的途径升级为等离子体，这样便可在一个结构紧凑的设备上实现等离子体和热ALD

牛津仪器有大量的工艺储备，并且还在不断开发新的工艺。我们为所有的ALD设备提供终身免费的、延续不断的工艺支持，我们还将为您提供关于开发新材料的建议，同时继续与您共享包括新工艺配方在内的新的ALD工艺进展。

特征

  • 可配备带有样品传送入口的氮气吹扫手套箱 - 适用于干燥环境

  • 易于拆卸的内腔室 - 减少腔室清洗时间

  • 机柜可安装在抽气管路上并附带氮气吹扫 - 以确保健康和安全的承诺

  • 气动起重装置 - 用于安全打开腔室

  • 可配备抽气罩或氮气吹扫手套箱 - 以确保健康和安全的承诺

应用

  • 纳米电子

  • 高K栅氧化物

  • 存储电容电介质

  • 用于Cu互连的高深宽比扩散隔层

  • 用于OLED和聚合物的无针孔钝化层

  • 用于晶体硅太阳能电池的钝化

  • 用于微流体和MEM的高保形涂层

  • 纳米多孔结构的涂层

  • 生物MEMS

  • 燃料电池

牛津仪器科技（上海）有限公司为您提供牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统，牛津仪器ALD OpAL产地为英国，属于进口原子层沉积设备，除了牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供牛津仪器Etch刻蚀工艺、牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备、牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀,牛津仪器客服电话400-860-2711，售前、售后均可联系。

牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的工作原理介绍原子层沉积ALD OpAL的使用方法?牛津仪器ALD OpAL多少钱一台?原子层沉积ALD OpAL可以检测什么？原子层沉积ALD OpAL使用的注意事项？牛津仪器ALD OpAL的说明书有吗？牛津仪器原子层沉积ALD OpAL的操作规程有吗？牛津仪器原子层沉积ALD OpAL报价含票含运吗？牛津仪器ALD OpAL有现货吗？
行业应用
相关仪器 更多
相关资料 更多

相关产品

牛津仪器科技（上海）有限公司为您提供牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统，牛津仪器ALD OpAL产地为英国，属于进口原子层沉积设备，除了牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供牛津仪器Etch刻蚀工艺、牛津仪器PlasmaPro100 Estrelas刻蚀设备、牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀,牛津仪器客服电话400-860-2711，售前、售后均可联系。
Business information
工商信息 信息已认证
当前位置： 牛津仪器 仪器 牛津仪器ALD OpAL原子层沉积系统

关注

拨打电话

留言咨询