型号: | PDC-MG |
产地: | 美国 |
品牌: | 哈瑞克 |
评分: |
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美国 Harrich PDC-MG 高集成度等离子清洗机
技术参数:
1.整机规格:500×300×300(长×宽×高)mm
2.整机重量:35 Kg
3.清洗舱规格:Φ165×L210 mm (耐热玻璃)
4.清洗舱有效容积:4.5 L
5.输入电源:220 V/50 Hz
6.整机输入功率:400 W
7.射频输出:0~150 W(连续可调)
8.射频频率:13.56 MHz
9.数字式定时器范围:0~99.99 min
10.极限真空度:60 Pa
11.二路浮子流量计:0.2~1.5L/min量程,方便二种气体按比例混合
12.观察窗:观察清洗仓内辉光状态
13.常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体
14.VRD-8型单相真空泵
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