Beneq Transform® 沉积系统Transform®_价格-深圳市科时达电子科技有限公司

产品详情

Beneq Transform® 凭借多功能性和灵活性，制造了全新的ALD集群工具设备。可适用于广泛的应用场景并满足不同的市场细分。Beneq Transform™配置多个ALD工艺模块，以满足特定的晶圆产能要求，也可为应对不断增长的产量或新的ALD应用而进行升级。

兼容热法和等离子体增强ALD工艺模块

单片、批量、热法及等离子体增强功能集成在同一平台上。适用于广泛的高性能氧化物和氮化物。为客户提供了灵活、可靠、高产能的ALD解决方案。

Beneq Transform™凭借灵活的自动化平台，热法和等离子体增强的ALD工艺模块集成在一个系统中的独特能力，在工艺制备中可满足最苛刻的薄膜沉积要求，并提供无与伦比的灵活性。

专为晶圆厂设计

工业标准的水平晶圆装载可实现即插即用的无缝集成。配备独特的预热模块，可减少数小时的等待时间，并将产能提升到一个全新的水平。

SEMI 认证

完全符合 SEMI S2/S8 和 SECS/GEM 标准。为客户提供定制化服务，确保在批量生产中顺利过渡到 ALD 工艺。

Beneq Transform™ 是适用于电力电子、MEMS 和传感器、RF、LED、光子学和先进封装应用的一站式 ALD 解决方案。

Transform®Transform® Lite

最大配置3 ALD modules & 1 pre-heater2 ALD modules & 1 pre-heater

预热YesYes

传输模块Brooks Mx600SSBrooks Mx400

冷却选项Built-inFacet-mounted

VCE 装载21

基底尺寸3", 4", 6" or 8"3", 4", 6" or 8"

基底材料Si, GaN-on-Si, GaAs, InP, SiC, GaN, LNO, SapphireSi, GaN-on-Si, GaAs, InP, SiC, GaN, LNO, Sapphire

最大配置尺寸3000 x 3000 x 2250 mm3000 x 1250 x 2250 mm

深圳市科时达电子科技有限公司为您提供Beneq Transform® 沉积系统Transform®，nullTransform®产地为芬兰，属于进口原子层沉积设备，除了Beneq Transform® 沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,Kesda客服电话400-860-5168转4967，售前、售后均可联系。

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企业名称: 深圳市科时达电子科技有限公司
企业类型:
信用代码: 440300215081067
成立日期: 2020年10月20日
注册资本: 100
经营范围: 电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。

型号：	Transform®
产地：	芬兰
品牌：
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