Beneq TFS 200原子沉积系统_价格-深圳市科时达电子科技有限公司

产品详情

Beneq TFS 200 是一款适用于科学研究和企业研发的最灵活的 ALD 平台。 Beneq TFS 200 是为多用户研究环境中将可能发生的交叉污染降至最低而特别设计的。各种配置选项和升级意味着 Beneq TFS 200 将与您一起成长，以满足高标准的研发需求。

Beneq TFS 200 不仅可以在晶圆，平面物体上镀膜，还适用于粉末，颗粒，多孔的基底材料，或是有高深径比的3D物体内沉积高保形薄膜。

直接和远程等离子体沉积 (PEALD) 可作为 Beneq TFS 200 的标准选项。等离子体是电容性耦合(CCP)，这是当今的工业标准。等离子体选件可为直径200毫米的基板（面朝上或面朝下）提供直接和远程等离子体增强沉积 (PEALD) 。

循环周期小于2秒。在特定的条件下可以小于1秒。
高深径比(HAR)选项适用于通孔和多孔的基底材料。
可快速加热和冷却的冷壁真空反应腔。
安装在真空反应腔的辅助接口可实现等离子体和在线诊断等。
加载锁可用于快速更换基底材料并与其他设备集成。

1325 x 600 x 1298 mm

ALD系统尺寸

Production/R&D

应用

25 – 500 °C

温度范围

Up to 8

气体管道

深圳市科时达电子科技有限公司为您提供Beneq TFS 200原子沉积系统，nullTFS 200产地为芬兰，属于进口原子层沉积设备，除了Beneq TFS 200原子沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,Kesda客服电话400-860-5168转4967，售前、售后均可联系。

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市科时达电子科技有限公司
企业类型:
信用代码: 440300215081067
成立日期: 2020年10月20日
注册资本: 100
经营范围: 电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。

型号：	TFS 200
产地：	芬兰
品牌：
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