方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | 无 |
利用共聚焦显微镜，进行半导体激光器的晶圆缺陷检测，以及波导结构的尺寸测量
n用户：半导体激光器元器件厂、晶圆厂
n使用目的： •晶圆缺陷检查 •光波导路尺寸测量 •介质层等膜厚测量
n功能要求：外延缺陷检查/分类/追踪、高再现性形状测试、纳米级膜厚等
案例1
案例2
案例3
文献贡献者
共聚焦显微镜 方解石解理面溶解过程观察
共聚焦显微镜+SAW滤波器+晶圆缺陷 IDT形状
共聚焦显微镜+光刻胶+形状
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