全自动光学关键尺寸和形貌测量系统TFX3000 OCD--300mm_价格-睿励科学仪器（上海）有限公司

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TFX3000 OCD是睿励科学仪器（上海）有限公司自主创新开发，具有自主知识产权的集成电路生产线300mm硅片全自动光学关键尺寸（OCD）和形貌测量系统。其在TFX3000系统基础上集成光学关键尺寸测量模块，除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行显影后检查（ADI）、刻蚀后检查（AEI）等多种工艺段的二维或三维样品的线宽、侧壁角度（SWA）、高度/深度等关键尺寸（CD）特征或整体形貌测量。可测量二维多晶硅栅极刻蚀（PO）、隔离槽（STI）、隔离层（Spacer）、双重曝光（Double Patterning）或三维连接孔（VIA）、鳍式场效应晶体管（FinFET）、闪存（NAND）等多种样品。具有高速、准确和非破坏性等特点。

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企业名称: 睿励科学仪器（上海）有限公司
企业类型:
信用代码: 310115400178289
成立日期: 2005年06月27日
注册资本:
经营范围: 研制、生产半导体设备,销售自产产品,提供相关的技术服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

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型号：	TFX3000 OCD--300mm
产地：	上海
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