| 型号： | CY-EVS180S-HV |
| 产地： | 河南 |
| 品牌： | 成越科仪 |
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等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。
离子溅射和蒸发二合一镀膜仪适用范围：
扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。
离子溅射和蒸发二合一镀膜仪技术参数：
供电电压 | AC220V，60Hz |
最大功率 | 1200W |
样品台 | 直径φ65mm； 与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm |
真空腔体 | 材质：304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm |
最高温度 | 1700℃ |
热电偶 | B型热电偶 |
真空计 | 电子式真空计 |
真空系统 | 前级泵：浦发MVP030 无油泵 抽速30L/min 次级泵：莱宝TURBOVAC 90iX 抽速90L/s |
真空接口 | KF40 |
进气接口 | 1/4卡套接头 |
整机尺寸 | 500x350x400mm |
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