| 型号： | Cchip-0019 |
| 产地： | 江苏 |
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1. 产品简介：
微流控芯片的设计结构一般深宽比较大，针对微流控芯片这一特点，中芯启恒自主研发生产了Cchip-0019适用于高深宽比工艺的光刻机。该设备采用目前先进的LED光源，紫外波长365nm，光源纯度高，辐射能量均一可调。设备配有智能化触摸屏操作面板，外观比较传统光刻机体积更小，集成化度更高，不仅简化了操作流程，还进一步提高了工艺效率。
不仅如此，我们还对曝光系统进行了优化，将曝光过程中衍射误差降到极限，保证图案设计值与实际值一致，从而为芯片制作保驾护航。
以下是客户实测图片，结构高度92um，间距20um，请参考！
2. 技术参数：
1）曝光面积：110mm×110mm
2）曝光波长：365nm： 40mW/cm2
3）分辨力：0.8mm
4）对准采用双视场对准显微镜：通过CCD+显示器对准，光学合像，光学+电子放大400倍
5）显微镜扫描范围：X：±50mm，Y：±20mm
6）对准精度： ±0.5mm
7）掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸
8）样片尺寸：2英寸、3英寸、4英寸；厚度0.1mm--5mm
9）曝光方式：定时
10）照明不均匀性：2%（ f100mm范围）
11）掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
12）曝光光源：紫外LED
13）曝光强度：40mW
14）胶厚：350 mm
15）光源平行性：＜1.8°
16）外形尺寸：900mm（长）900mm(宽) 800mm（高）
3. 特别说明：
1）中芯启恒自主研发，拥有专利技术
2）质保两年，性价比高，质量稳定
3）可接受样品测试申请
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