| 型号： | SU-8 2025 |
| 产地： | 江苏 |
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简介：
中芯启恒SU-8 2000系列光刻胶是负性光刻胶，采用环戊酮溶剂配制而成，在超厚度胶膜涂布工艺中，图案化的结构有较好的稳定性和高分辨率，其膜厚范围比任何其他市售光刻胶更广泛，单次旋涂工艺胶膜厚度可选1-300um范围，可根据需要进行多次旋涂，从而获得更厚的胶膜。自2019年推出后，受到了同行业客户的青睐，在MEMS微加工领域占据越来越多的市场份额。
中芯启恒SU-8 2000系列光刻胶根据粘度不同，划分为以下型号：
备注：不同膜厚可通过调节匀胶机转速获得，因客户实验设备不同，实际参数需进行微调。
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