uFS系列高精密电动直线滑台
超高精密电动旋转台RAuK系列
SK13(A)-40系列不锈钢高精密手动平移台
NS-X20-01是一款X轴方向的运动台,采用压电陶瓷作为驱动,超精密电容传感器提供反馈,可提供高达0.1nm的闭环分辨率。
典型应用:
• 显微成像
• 激光加工
• 光学移相
• 光栅刻写
• 光学对准
• 晶圆检测
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