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NS-XY25-01是一款高精度二维纳米定位平台,提供集成的XY两维运动控制。闭环行程可达25x25μm,闭环分辨率 0.1/0.1nm。
典型应用
• 光学对准 • 显微成像
• 半导体加工 • 表面检测
• 高密度存储
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