型号: | EVG600系列 |
产地: | 奥地利 |
品牌: | |
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EVG系列纳米压印设备之紫外纳米压印:600
一、 简介
EVG公司成立于1980年,公司总部和制造厂位于奥地利,在美国、日本和台湾设有分公司,并在其他各地设有销售代理及售后服务部,产品和服务遍及世界各地。
EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商,其丰富的产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩模版光刻/键合对准系统、基片热压键合/低温等离子键合系统、基片清洗机、基片检测系统、SOI 基片键合系统、基片临时键合/分离系统、纳米压印系统。
目前已有数千台设备安装在世界各地,被广泛地应用于MEMS微机电系统/微流体器件,SOI基片制造,3D封装,纳米压印,化合物半导体器件和功率器件等ling 域。
EVG是世界上为数不多的可以商业化纳米压印设备的著ming公司,可为客户提供完整的纳米压印方案,包括热压印、紫外压印、微接触印刷。EVG公司以其 的极其优异的对准技术和世界ling 先的热压技术为纳米压印的成功实施打下了坚实的基础。
EVG620紫外纳米压印用于从印章到衬底的紫外图形转移。EVG620自动纳米压印系统允许衬底和印章的尺寸从很小的芯片到150mm直径的圆片范围。用于纳米技术应用的配置包括印章机械释放、程序控制高或低的接触压力。EVG独有的吸盘设计支持软印章和硬印章压印,可以保证大面积纳米压印的均匀压力,从而保证获得很高的良率。
二、应用范围
纳米压印技术主要应用于如下方面:
LEDS 制作,LED PSS纳米压印工艺,LED纳米透镜阵列;微流体学;芯片实验室;抗反射层; 纳米压印光栅; 莲花效应;光子带隙;光学及通讯:光晶体,激光器件;生物技术解决方案:医药分析,血液分析,细胞生长。
三、主要特点
u 适用于紫外纳米压印和微接触印刷;
u 紫外光曝光;
u 配备专用的紫外纳米压印工具;
u 适于软或硬印章压印;
u 适用衬底:Si,玻璃,化合物半导体;
四、技术参数
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纳米压印设备之紫外纳米压印
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