SENTECH ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统 -SI 500_价格-上海银雀电子科技发展有限公司

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SENTECH ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统

-SI 500

SENTECH仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。

SI 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备，可满足III/V半导体和Si加工工艺领域的的灵活应用。

主要特点:

l 高速率刻蚀

l 低损伤

l 高深宽比刻蚀

l 高工艺一致性

l 平板三螺旋天线式PTSA等离子源 (Planar Triple Spiral Antenna)

l 远程控制

上海银雀电子科技发展有限公司为您提供SENTECH ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统 -SI 500，nullSENTECH ICP-RIE产地为德国，属于进口等离子体刻蚀设备，除了SENTECH ICP-RIE感应耦合等离子刻蚀系统 -SI 500的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多等离子体刻蚀设备,ASTchian客服电话，售前、售后均可联系。

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企业名称: 上海银雀电子科技发展有限公司
企业类型:
信用代码: 310114001336027
成立日期: 2005年04月26日
注册资本:
经营范围: 计算机软硬件、电子产品领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,会展、会务服务,文化艺术活动策划,商务咨询,机械电子设备、建材的销售。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

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型号：	SENTECH ICP-RIE
产地：	德国
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