本源量子无损探针台NDPT-100

本源量子无损探针台NDPT-100

参考价:面议
型号: NDPT-100
产地: 安徽
品牌: 本源量子
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产品详情

本源量子无损探针台NDPT-100产品介绍

   无损探针台是一款应用于超导量子芯片常温电参数精密测量的半自动化设备,最小测量范围至微米级。 该设 备最大的特点是可以在不影响量子比特性能的情况下,实现量子比特常温电参数的测量。该设备同样适用于半导 体行业的晶圆精密电参数测试。


无损探针台NDPT-100产品特点

  •   高稳定性、高运动精度、多自由度可控的芯片吸附载台

  •   显微镜倍率可变,测试最小区域达微米级

  •   探针造成的薄膜伤痕直径最小在1μm以内

  •   半自动化控制,人机交互便捷





无损探针台NDPT-100产品参数:

  • 测量样品:12 寸及以下;真空吸附

  • XY 方向运动定位精度: 3μm 

  • XY 方向重复定位精度:0.5μm 

  • Z 向重复定位精度:1μm 

  • Z 向分辨率:FULL/HALF STEP 0.5um/0.25μm 

  • 显微镜放大倍数:1.25X-15X,分辨率 11.18-1.68μm



    无损探针台.png

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