| 型号： | MLLAS-100 |
| 产地： | 安徽 |
| 品牌： | 本源量子 |
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1、微米级局域激光退火系统产品简介
微米级局域激光退火系统可定向修饰量子比特的频率参数 ，提高量子芯片的良品率，解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题。该系统可配置高真空退火腔体和惰性气体退火腔体，实现量子芯片的真空局域退火和惰性气体氛围退火功能。该系统亦可适用于半导体芯片、材料表面改性处理等领域。
2、微米级局域激光退火系统产品特点
比特频率修饰准确性超过99%（300个比特样品）
激光功率0~2.5W可调，功率稳定性RMS优于0.5%（10h内）
退火目标区域定位精度达百纳米级
系统全自动化控制，可多点一键退火，人机交互便捷
微米级光斑，激光光斑形状尺寸可定制
3、微米级局域激光退火系统产品参数
退火重复性：常温电阻修饰准确性超过 99%（300 个比 特退火比例标准差）
激光波长：532 nm
激光输出功率：支持可变功率 0-2.5W，最小调节单位 0.01W
功率稳定性：激光功率稳定性 RMS 0.5% （10h 内）
激光光斑：直径 20μm±2μm（有效退火范围），支持 定制形状尺寸
退火时间控制：最短退火时间 40ms
可处理芯片尺寸：2inch（其他规格形状可定制）
芯片定位精度：±0.25μm （X/Y 方向）
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