实验型显影机
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实验型显影机

参考价:面议
型号: customized-2
产地: 其他
品牌: 雷博科仪
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核心参数
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产品详情

全封闭式桌面显影机主要用于半导体制造中晶片的显影工艺,设备配有一路显影和一路水、一路气吹功能,并且喷嘴位置可程控移动,实现自动显影和清洗作业

支持wafer尺寸:碎片至200mm(可根据客户需求定制四管路或更大基片)

单步工艺及多步工艺可选,内置100组可编辑程序

转速分辨率:±1 RPM

旋涂速度:20-3000rpm(空载)

旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空载)

工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度: 0.1sec



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售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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