北方华创深硅刻蚀机HSE_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述：

HSE M200主要用于4/6/8英寸深硅干法刻蚀工艺。可以配置手动及自动传输系统。产品配置高密度双立体等离子体源，中心边缘进气，快速气体切换，低频脉冲下电极系统，可以实现高速、高深宽比、高均匀性及极小的侧壁粗糙度。HSE P300主要用于12英寸硅刻蚀。采用Cluster结构布局，能够减小占地，提升产能。系统主要由传输模块、工艺模块、灰区部件、电源柜等组成。可实现自动化地上下料及自动工艺。

2. 设备应用：

HSE M200

晶圆尺寸:

8英寸及以下

适用材料:

硅、SOI、SOG

适用工艺:

深硅刻蚀

适用领域:

微机电系统、科研领域

HSE P300

晶圆尺寸:

8/12英寸兼容

适用材料:

硅、氧化硅、氮化硅

适用工艺:

深槽刻蚀、深孔刻蚀、扇出型封装硅载体刻蚀、露铜刻蚀等

适用领域:

先进封装

3.设备特点

HSE M200

双等离子源和双区进气，保证高刻蚀均匀性和高刻蚀速率

兼容性强，工艺种类多样，应用领域广泛，系统可靠性强

灵活的系统配置，适合研发、中试线、大规模生产线的不同应用

低拥有成本和运营成本

HSE P300

使用立体高密度等离子源，大幅提升刻蚀速率

双等离子源和双区进气，确保较高的均匀性

全自动化软件控制，高产能

低拥有成本和运营成本

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创深硅刻蚀机HSE，北方华创HSE产地为北京，属于国产湿法腐蚀/刻蚀设备，除了深硅刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	HSE
产地：	北京
品牌：	北方华创
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