北方华创6/8英寸全自动槽式清洗机GAMA Series_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述：

GAMA系列6/8英寸全自动槽式清洗机满足全部湿法工艺需求，覆盖RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etch等应用，可用于典型0.35um、0.18um工艺节点，可支持90nm工艺节点，可兼容6寸和8寸晶圆。

2. 设备应用：

晶圆尺寸

6、8 英寸

适用材料

硅，碳化硅，硅基氮化镓

适用工艺

预清洗、去胶清洗、氮化硅去除、金属去除(Co,Ti)、Recycle 清洗、抛光后清洗、Epi 前清洗、 Epi 后清洗

适用领域

集成电路、衬底材料、化合物半导体、功率半导体

3. 特色优点：

北方华创 GAMA Series 清洗机在腐蚀均匀性方面表现卓越。腐蚀均匀性对于保证芯片制造的一致性和稳定性具有关键意义。
这款清洗机通过精心设计的流体流动系统、化学溶液分布机制以及温度控制策略，确保在整个晶片表面实现高度均匀的腐蚀效果。无论是在大面积的晶片还是复杂的图形结构区域，都能保持腐蚀程度的一致性。
可能采用了多喷头均匀喷淋、旋转式清洗等技术，使化学溶液能够均匀地覆盖晶片表面，避免出现局部腐蚀过度或不足的情况。同时，精准的温度控制系统能够确保整个清洗过程中温度的均匀性，因为温度的差异可能会影响腐蚀反应的速率和均匀性。在实际应用中，即使面对不同材质和厚度的晶片，该清洗机也能提供出色的腐蚀均匀性，从而有效提高芯片的质量和性能。

4.设备特点

结构设计紧凑，占地面积小

模块化设计，配置灵活、可扩展

成熟的工艺槽设计，确保工艺稳定性

精确的化学称量系统，实现高质量工艺

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创6/8英寸全自动槽式清洗机GAMA Series，北方华创GAMA Series产地为北京，属于国产湿法清洗设备，除了6/8英寸全自动槽式清洗机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法清洗设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	GAMA Series
产地：	北京
品牌：	北方华创
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